温馨提示

该企业已关闭在线交流功能

产品|二手机|公司|采购|资讯

6~8英寸标准型等离子刻蚀机

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称深圳市东信高科自动化设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号TS-VPK
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2021-07-21
  • 访问次数443
产品标签:

询底价 点击查看联系电话

联系方式:王生 查看联系方式

联系我们时请说明是 机床商务网 上看到的信息,谢谢!


深圳市东信高科自动化设备有限公司始创于1998年,是国内早期批从事真空及大气低温等离子体(电浆) 技术、射频及微波等离子体技术研发、生产销售于一体的国家,隶属于东信高科等离子科技(香港)控股有限公司,总部设于香港。目前公司设立有等离子事业部,超声清洗事业部,自动化设备事业部,塑胶焊接事业部。产品涵盖等离子体表面处理,超声波清洗、电镀、制冷等领域。为适应国内外市场对等离子体表面处理工艺的需求,东信高科等离子事业部联合德国等离子体研究等离子研究所,德国Diener公司实验室等国内外科研机构,投入大量资金,先后研发出了等离子清洗机、等离子刻蚀机、等离子去胶机、等离子表面处理设备、电浆清洗机及常压等离子打磨、抛光系统等自动化设备。产品广泛应用于包装、塑料制品、通讯、汽车、家电、光电、纺织、半导体及精密制造等行业,在表面涂装、表面粘接、表面清洁方面尤为突出。经过近二十年的发展,不断革新技术与产品,成功的推动了我国低温等离子技术在等离子体尘埃、晶体、材料合成、微米纳米技术、化工、环保、表面聚合、表面接枝、表面刻蚀、表面催化、金属渗氮、化学合成和气、液、固态物质处理方面的发展。公司凭借强大的科研实力,已成功申请了多项技术。公司先后与富士康公司、美国AAC集团、爱普生电子、中国兵器集团、中国电子科技集、、东南大学光电实验室、深圳比亚迪股份有限公司等世界500强公司和研究单位达成战略合作协议,成为上述企业和单位的超声波、等离子处理设备供货商。公司秉承诚信、拼搏、创新的精神理念,以人为本、高效服务的经营理念,立足中国,面向,打的等离子表面处理设备供应商和服务商!
超声波模具抛光机,超声波清洗机,水滴角测量仪
产品简介: 标准6~8英寸晶圆片刻蚀机,用于手机、半导体电子等多个行业
6~8英寸标准型等离子刻蚀机 产品信息

产品特点


应用领域:适用于大学、研究院所、企业研发礼构通用的等离子体刻蚀的科研与教学或者小批量量产。

等离子刻蚀方式:RIE反应离子刻蚀或者ICP模式离子刻蚀(根据用户需求定制)

样片数量及尺寸:1片φ6英寸、8英寸

刻蚀材料:包括并不限于单晶硅、多晶硅、Si02,Si3N4,Ti,W、聚合物等

刻蚀腔体:高真空系统

刻蚀不均匀性:±3%-+6%

刻蚀速率:0.1-4um/min(视具体材料与工艺)

工作台:可升降,包含水冷

电源配置:上电极射频,下电极偏压,包含自动匹配

气路数量与种类:6路耐氟基腐蚀气路或用户选配

操作模式:PLC+电脑显示屏,全自动+半自动控制


关键词:工作台

二手机推荐

对比栏

提示

×

*您想获取产品的资料:

以上可多选,勾选其他,可自行输入要求

个人信息:

下载机床通APP
让生意变得更容易!机床通APP
微信公众号
编辑部:2056841617展会部:2056841617市场部:931681025