真空等离子清洗机产品参数表：
| 型号 | 真空等离子清洗机TS-PL180L |
| 外形尺寸 | W1200mm×D1200mm×H1730mm |
| 真空腔尺寸 | W500mm×D600mm×H600mm |
| 腔体材质 | 316不锈钢 |
| 极板数量 | 9 |
| 等离子体发生器 | RF 13.56Mhz /40Khz |
| 功率 | 0~1000W可调 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
| 真空泵 | 干泵/油泵可选 |
| 电源 | AC 380V |
真空等离子清洗机产品特点：
进口不锈钢316材质真空腔体：级别密封，避免气体泄露，又实现高效的真空度，为等离子体创造的反应条件。
自主研发等离子体控制系统: 可根据腔体环境精准控制等离子体发生时间和反应强度，可进行多步工艺流程处理，采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件, 有手动、自动两种控制模式，10.7”真彩触摸屏，可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。
高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调，采用高精度电子质量流量计及阀件。
强大的全面安全防护系统：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，非法操作提示、清洁结束提示，各种误操作保护功能等。
处理全程无污染 ，等离子清洗机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
真空等离子清洗机工作原理：
真空等离子清洗机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的等离子体具有不同的化学性能，如氧气的等离子体具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的等离子体具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理。
等离子体主要是通过气体放电产生,其中包含电子、离子、自由基以及紫外线等高能量物质,具有活化材料表面的作用。例如,电子质量小、移动速度快,可以先一步到达材料表面并使其带有负电荷,同时对材料表面产生撞击作用,可促使表面吸附的气体分子解吸或分解,也有利于引发化学反应;材料表面带有负电荷时,带正电荷的离子会加速向其冲击,所产生的溅射作用会将表面附着的颗粒性物质除去;等离子体中自由基的存在对清洗作用具有非常重要的意义,由于自由基易与物体表面发生化学连锁反应,产生新的自由基或进一步分解,最后可能会分解成挥发性的小分子;而紫外线具有很强的光能和穿透能力,可透过材料表面深达数微米而产生作用,使表面附着物质的分子键断裂分解。
售后服务：
响应迅速在，广东，四川，湖南，河南，江苏等地均有售后服务点，为用户免费提供真空等离子清洗机的上门安装及调试服务，保证设备正常运行，提供壹年质保服务，质保期免费维修。
