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减薄性研磨机--PG3000RMX

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  • 公司名称上海玖苏科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2021-05-03
  • 访问次数1773
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“立志欲坚不欲锐,成功在久不在速“,上海玖苏科技有限公司,玖苏(JOSO)二字取自“久”“速”谐音,意为成事在于不在于迅速。 公司成立于2019年4月24日,专注于为半导体行业提供更为多元化的方案与服务,是东京精密半导体生产设备的有力合作商。玖苏科技内部核心人员均从事半导体行业十余年,具备丰富的行业经验,随着国内半导体行业的日益发展,为满足不同客户的需求,上海玖苏不仅为客户提供高性价比的生产及配套设备,更有经验丰富的技术支持,及时有效的售后服务,我们将为您提供晶圆划片机、划片机、研磨机、减薄机、探针台一站式的服务。
高刚性研磨机,自动清洗机,减薄性研磨机,全自动双轴机
减薄性研磨机--PG3000RMX
减薄性研磨机--PG3000RMX 产品信息

减薄性研磨机--PG3000RMX


为将晶圆减薄到一定厚度,晶圆的图形面

会贴上一层保护胶带,然后用磨轮和抛光材料

对晶圆背面进行研磨。由于半导体材料用晶圆

越来越薄,传统的研磨机已经不能满足使用要求。

AccretechPG系列可以抛光超薄晶圆,和RM

系统的连接,可以在下料时给晶圆背面自动贴上

切割胶带,实现15um厚度晶圆量产的高度集成化一体机。

 

 

规格

工件尺寸(可选配)

Φ300

主轴

轴数

2

输出功率(KW)

6.3

转速(min-1)

4000

 

工作台数量

4

尺寸(mm)

研磨机单体

1750×2842×2100

(W×D×H)

RM单元单体

1729×2715×2100

重量(KG)

研磨机单体

8000

RM单元单体

1500


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