高刚性研磨机--HRG200X
特征
■ 全自动高刚性 2 轴研磨盘
■ 实现在短时间之内的无损加工
■ 低加工成本
■ 高精度加工
■ 实现镜面加工
可研磨材料:难加工材料,比如碳化硅,LT,LN
可加工尺寸: 尺寸:直径3-8英寸
●规格参数
类别 | HRG200X |
全自动高刚性双轴研磨机 | |
设备尺寸和重量 | 尺寸:1540(W)×2050(D)×2010(H) mm |
重量:4500 kg | |
晶圆尺寸(mm) | 200 |
磨轮直径(mm) | 250 |
主轴转速(rpm) | Max.3600 |
工作台转速(rpm) | Max.800 |
主轴功率(KW) | 6.3 |
单片总厚度偏差:TTV(μm) | 1 |
片与片厚度偏差:WTW(μm) | ±1 |