一次测量，实现高精度轮廓分析及粗糙度分析

显著特点

·宽范围的高精度传感器，量程可达±2mm。

·即使测量分辨率高达0.8nm时，量程也能达到200μm。

·在宽范围（量程为±2mm时），残值噪声≤0.025μm。

测量功能

·轮廓测量：各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径，可进行直线度分析、凸度分析。

·轮廓分析：：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

·粗糙度测量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

·波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr