5.规格参数:
测量行程(mm)
X坐标:200 Y坐标:100
X、Y坐标测量分辨率:0.0002mm
X、Y坐标准确度:(1+L/100)μm,式中L为被测长度,单位为mm
方工作台尺寸(mm):260×270
方工作台承放工件*大高度(mm):140
角度倾斜范围:±12°
角度倾斜分度值:30’
物镜放大率 | 工作距离(mm) | 视场范围(mm) |
1× | 82 | 6.0×4.0 |
3× | 70 | 2.0×1.5 |
5× | 49 | 1.2×0.9 |
屏幕图像范围(mm) | 屏幕图像范围(mm) |
1/2″≈5.2×4.1 | 1/3″=4.1×3.1 |
1/2″≈1.7×1.4 | 1/3″=1.4×1.0 |
1/2″≈1.0×0.8 | 1/3″=0.8×0.6 |
顶针架夹持*大直径:φ100 mm
顶针架夹持*大长度:700mm
高顶针架夹持*大直径:φ250 mm
高顶针架夹持*大长度: 200mm
角度测量范围:0°~360°
角度测量分辨率:5″
角度测量准确度:30″
1/2″或1/3″黑白(或彩色)CCD
像素数:795×596
*小探测孔径: φ5mm
*大探测深度:15mm 测量力:0.1N
定位稳定性: 0.001mm
测头直径的检定极限误差:0.0005mm