1.芯明天放大机构式压电纳米定位台
压电纳米定位台是以压电陶瓷做为基础元件驱动的压电平移台，X 轴，XY 轴，XYZ 轴多维压电平移台，驱动形式包含压电陶瓷直驱式以及机机构放大式两种驱动形式。相同驱动电压下，机构放大平台的位移是直驱平台位移的几倍至几十倍；直驱平台的响应速度要比机构放大平台的速度快。压电平移台的运动行程范围zui大可达 300μm，且它具有纳米级分辨率以及毫秒级的响应时间。在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，且应用非常广泛，例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。
2.芯明天放大机构式压电纳米定位台p11’
P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台，P11.Z为一维压电纳米定位台，平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构，一体的结构设计，多维运动无耦合。 机构放大式驱动原理，内置高性能压电陶瓷，可实现110μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有良好的控制精度，分辨率和稳定 性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级，压电定位台为无磁材质，使用过程中不受磁场的影响，压电定位台体积小、结构紧凑 易于集成。
3.一维压电纳米定位台特性
• 一维Z轴运动 • zui大行程110μm，可选择210μm、320μm版本
• 体积小巧 • 毫秒级响应时间 • 纳米级定位精度
外观形状 | 产品运动示意图 | 放大机构式驱动示意图 |
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大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快 |
P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，可以实现1~3维110μm的精密运动。 该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本， 闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整，实现纳米级的精密定位控制。 P11系列压电纳米定位台的响应速度非常快，配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。 |
原子力探针扫描显微镜
| 应用 • 光纤定位/光学扫描 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米定位 • 干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 • 微加工/精密控制
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