1.p31芯明天二维θx,θy向压电偏转镜
P31俯仰/偏转镜系统可提供光束偏转角度达50mrad，这种偏转镜系统是基于成熟的平行运动学设计，两个运动轴为垂直共面轴且具有共同的固定点，具有高分辨率及高定位精度等特点。
2.p31芯明天二维θx,θy向压电偏转镜
特性
• θx,θy二维偏转，zui大偏转角度25mrad • 闭环定位精度高
• 分辨率高 • 温度稳定性高 • 亚毫秒响应时间
3.二维θx,θy向压电偏转镜 25mrad
运动方式 | 频率负载曲线 | 闭环曲线 |
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| 闭环传感输出监测电压与偏转镜输出偏转角度成线性关系。
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高可靠性及长寿命、高稳定性及动态性 | 结构原理 | |
P31系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器，被集成在成熟的、经过FEA建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷，可提供更好的稳定性及可靠性。 压电促动器、导向机构及传感器是免维护的，不易损坏且提供超高的可靠性。*的铰链/杠杆设计将惯性zui小化，允许25mrad的大角度俯仰/偏转范围（可将光束偏转50mrad），且具有非常快的响应速度，在毫秒级范围。 除了大偏转角度及高动态，P31还提供了亚微弧度的分辨率。内部集成高分辨率、全桥的应变传感器（SGS）实现了的位置控制，具有优异的重复定位精度，通常为满行程的0.2%。 | 压电偏转镜（两轴运动）是基于平行运动学设计，具有共面轴及移动面。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供zui高可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现，采用桥式连接电路控制。
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可定制镜片转接座 | 驱动控制 |
| P31压电偏转台θxθy两轴采用90。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。
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应用 | 产品测试 |
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• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉
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