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光学3D表面轮廓仪

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  • 公司名称上海伊丰精密仪器有限公司
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  • 厂商性质经销商
  • 更新时间 2020-08-07
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上海伊丰精密仪器有限公司,注册地点在上海市静安区,经营地点位于上海市闵行区,是经国家相关部门正式批准注册的一般纳税人企业。主营产品涵盖:几何测量、力学检测、光学检测、无损检测、环境测试、电学测试、化学试验、其他通用仪器仪表等多个领域。上海伊丰拥有由多名经验丰富的技术工程师组成的技术支持及服务团队,和专业素质良好的销售团队,提供各类精密检测设备及相关服务。 丰富的供应商资源 代理经营品牌包含:海克斯康,Mahr,ZEISS,Fischer,FLUKE ,三丰,Nikon,GE,GEN3,日置,奥林巴斯,瑞士TRIMOS,RASSON,WYLER,基恩士,Renishaw,Metronelec,中旺量仪 Sinowon,深圳古安特,昆山迈格,东莞特马,贵阳新天,西安纳诺,北京时代,上海尚材,青岛美舸,成量,哈量,怡信,万濠等,并与各中外精密仪器仪表制造商拥有*良好的合作关系。 优质的客户资源 优质的客户资源 通过多年的积累,上海伊丰公司凭借优质的产品、完善的服务和良好的口碑成为各企业的*供应商,与上汽集团,上海电气集团,商飞集团,贵航集团,中国航天集团,上海航天研究院,上海市测绘院,科世达KOSTAL,延锋江森YFJC/JCYM,西门子电机Siemens,汇众汽车,德尔福DELPHI,萨克斯汽车零部件,李尔汽车零部件Lear,TCL集团,人本轴承,河村电气Kawamura,能率NORITZ,上海海立,上海理光RICOH,上海锐奇工具,新大洲本田,宁波韵升集团,南京中船,昆山林泉电机,上海江南造船厂,上海沪东中华造船,同济大学,上海理工大学,上海交大,上海大学,上海市质检院,上海市*等等多家大型企业、科研院所及高校和中小企业等建立了良好的合作关系,我公司已经进入以上大部分企业*供应商体系。 上海伊丰公司本着为客户创造价值的宗旨,用日益成熟的技术,品质优良的产品,灵活专注的解决方案,为客户提供完善的服务、做优质供应商。 服务标准:严谨,细致,高效,奉献。 经营理念:诚信,合作,创新,共赢。 企业目标:成为技术服务公司、产品供应商,为用户提供专业技术支持及解决方案。 企业宗旨:创精密品质 树优质品牌 上海伊丰期待与您*合作,愿与您携手共进,创造辉煌。
影像仪,硬度计,检测仪,投影仪
光学3D表面轮廓仪 产品型号:SuperView W1产品名称:光学3D表面轮廓仪光学Zoom:1,(0.75,0.5可选)影像系统:10241024,(20482048可选)干涉物镜:10,(2.5、5、20、50、100可选)移动范围:140110mm控制方式:电动Z轴行程:100mmZ向扫描范围:10mmZ向分辨率:0.1nm可测样品反射率:0.5%-*水平调整:5,手动粗糙度RMS重复性:0.005nm主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
光学3D表面轮廓仪 产品信息

一、 产品描述

  SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

 

  SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D3D参数作为评价标准。

二、    产品功能

1)    一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

2)     测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3)     测量中提供拼接测量功能。

4)     分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5)     分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6)     分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

三、    应用领域

  对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

应用范例:

半导体.抛光硅片、减薄硅片、晶圆IC

3C电子.蓝宝石玻璃粗糙度、手机金属壳模具瑕疵、手机油墨屏高度差

超精密加工.光学透镜

精密加工.发动机叶片

精密加工.金字塔型金刚石磁头

标准样块.单刻线台阶、多刻线粗糙度

 

四、性能特色

1、  高精度、高重复性

1)   采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统,保证测量精度高;

2)   *的隔振系统,能够有效隔离频率2Hz以上绝大部分振动,消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声,保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用,获得*的测量重复性;

2、  一体化操作的测量分析软件

1)  测量与分析同界面操作,无须切换,测量数据自动统计,实现了快速批量测量的功能;

2)  可视化窗口,便于用户实时观察扫描过程;

3)  结合自定义分析模板的自动化测量功能,可自动完成多区域的测量与分析过程;

4)  几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全;

5)  一键分析、多文件分析,自由组合分析项保存为分析模板,批量样品一键分析,并提供数据分析与统计图表功能;

6)  可测依据ISO/ASME/EUR/GBT等标准的多达300余种2D、3D参数。

3、  精密操纵手柄

  集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作。

4、  双通道气浮隔振系统

  既可以接入客户现场的稳定气源也可以采用便携加压装置直接加压充气的双通道气浮隔振系统,在无外接气源的条件下也可稳定工作。

 

附录1.依据 ISO/ASME/EUR/GBT等国内外标准计算的2D,3D参数表:

2D参数表

标准名

参数

ISO 4287-1997

 

主剖面

粗糙度

波纹度

振幅参数

Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku

Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku

Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt,Wa,Wq,Wsk,Wku

间距参数

PSm,Pdq

RSm,Rdq

WSm,Wdq

物料比参数

Pmr,Pdc

Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)

Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)

峰值参数

PPc

RPc

WPc

ISO 13565

ISO 13565-2

Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk

ISO 12085

粗糙度图形参数

R,AR,R× ,Nr

波纹度图形参数

W,AW,W×,Wte

其他图形参数

Rke,Rpke,Rvke

AMSE B46.1

2D参数

Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt

DIN EN ISO 4287-2010

原始轮廓参数

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度参数

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,

波纹度参数

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

JIS B0601-2013

原始轮廓参数

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度参数

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波纹度参数

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

GBT 3505-2009

原始轮廓参数

Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

粗糙度参数

Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

波纹度参数

Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

 

3D参数表

标准名

参数

ISO 25178

高度参数

Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa

函数参数

Smr,Smc,S×p

空间参数

Sal,Str,Std

复合参数

Sdq,Sdr

体积参数

Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv

形态参数

Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv

功能参数

Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq

ISO 12781

平面度参数

FLTt,FLTp,FLTv,FLTq

EUR 15178N

振幅参数

Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St

空间参数

Str,Std,Sal

复合参数

Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd

面积体积参数

Smr,Sdc

函数参数

Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq

功能性指标参数

Sbi,Sci,Svi

EUR 16145 EN

振幅参数

Sa,Sq,Sy,Sz,Ssk,Sku

混合参数

Ssc,Sdq,Sdr

功能性指标

Sbi,Sci,Svi,Sk,Spk,Svk

空间参数

Sds,Std,Stdi,Srw,Srwi

硬度参数

Hs,Hvol,Hv,Hps,Hpvol,Hpv,Hap,Hbp

ASME B46.1

3D参数

St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt

 

恳请注意:因市场发展和产品开发的需要,本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改,恕不另行通知,不便之处敬请谅解。

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