工作原理
TONiC采用雷尼绍一代的*光学滤波装置,与SiGNUM采用的设计类似,但作了三大重要改进。*,TONiC设计经过优化,信噪比有所提高。光学滤波系统的这一改进加上精选的优质电子器件,大带宽增量信号可达到10m/s的大速度,同时也是同类光栅中位置抖动(噪声)小的。事实上,TONiC接口内部的其他抗噪电子器件进一步增强了高分辨率型TONiC的抗噪功能,抖动水平仅为0.51nmRMS。
第二大改进就是开发出了*集成的参考零位。现在参考零位分离式探测器直接嵌入增量码道线性光电二极管阵列的中心,从而尽量避免出现扭摆失相。
TONiC的第三个改进是将高级动态信号调节功能*集成到读数头中,也就是说可以直接从读数头获得经过*处理的信号,该信号通过自动增益控制和自动偏置控制功能进行优化获得非常低的SDE(±30nm)。