干涉扫描原理 干涉扫描原理是利用精细光栅的衍射和干 涉形成位移的测量信号。 阶梯状光栅用作测量基准：高度0.2 µm的 反光线刻在平反光面中。光栅尺带的前方 是扫描掩膜，其栅距与光栅尺带的栅距相 同，是透射相位光栅。 光波照射到扫描掩膜时，光波被衍射为三 束光强近似的光：-1、0和+1。光栅尺带 衍射的光波中，反射的衍射光中光强的光束为+1和-1。这两束光在扫描掩膜的 相位光栅处再次相遇，又一次被衍射和干 涉。它也形成三束光，并以不同的角度离 开扫描掩膜。光电池将这些交变的光强信 号转化成电信号。 扫描掩膜与光栅尺带的相对运动使*级 的衍射光产生相位移：当光栅移过一个栅 距时，前一级的+1衍射光在正方向上移过 一个光波波长，-1衍射光在负方向上移过 一个光波波长。由于这两个光波在离开扫 描光栅时将发生干涉，光波将彼此相对移 动两个光波波长。也就是说，相对移动一 个栅距可以得到两个信号周期。 例如，干涉光栅尺的栅距一般为8 µm、 4 µm甚至更小。其扫描信号基本没有高次 谐波，能进行高倍频细分。因此，这些光 栅尺特别适用于小测量步距和高精度应 用。尽管如此，其相对宽松的安装公差使 它可用于许多应用。 LIP、LIF和PP直线光栅尺采用干涉扫描
Shzex Industrial作为一家MRO工业品服务商，
有着庞大的客户群体和的供货渠道。不断创新、
优化每个环节流程，大大节省各项成本，从而为客
户提供*的产品及技术服务。
我们做的，就是您正在需要的。
我们期待您的咨询！
优势品牌：
优势供应HEIDENHAIN/海德汉、BECKHOFF/倍福、MARPOSS/马波斯、PILZ/皮尔兹、
BALLUFF/巴鲁夫、IFM/易福门、FESTO/费斯托、P+F/倍加福、EUCHNER/安士能、
AVENTICS/安沃驰等欧洲*工控备件
产品范围：
电子元器件 测量装置 液压传动装置 电气自动化控制 机械动力装置
流体控制系统 压缩过滤系统 信号转换传输系统 联接装置 机械设备
光学设备（除医疗器械） 泵阀类 电线电缆 五金交电 电子产品 仪器仪表
电子元器件 测量装置 液压传动装置 电气自动化控制 机械动力装置 流体控制系统 压缩过滤系统 信号转换传输系统 联接装置 机械设备 光学设备（除医疗器械） 泵阀类 电线电缆 五金交电 电子产品 仪器仪表
heidenhain增量编码器，
heidenhain值编码器，heidenhain信号线，heidenhain滤芯，
heidenhain封闭式直线光栅尺、heidenhain敞开式直线光栅尺、
heidenhain长度计、
heidenhain角度编码器
同类产品推荐
- 面议在线询价
产品名称参考价
