机床设计特点
● PA开放式操作系统；
● 天然花岗岩基座，保证机床*稳定性；
● 超精密高刚性空气静压主轴；
● 超精密液体静压导轨，具有较好的刚性和阻尼性；
● X/Z轴均采用直线电机驱动，全闭环控制；
● 气浮支承隔振系统zui大的减少外界振动干扰；
主要技术指标：
（1）Z轴
zui大行程： 210mm
直线度： 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重复定位精度： 0.3μm
分辨率： 10nm
zui大进给速度： 20mm/s
（2）X轴
zui大行程： 210mm
直线度： 0.2μm/100mm
定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm
重复定位精度： 0.3μm
分辨率： 10nm
zui大进给速度： 20mm/s
（3）C轴
高精度气浮轴承回转精度 0.1μm
转速 0-3000rpm
转角定位精度 30″
转角重复性定位精度 10″
