影响激光干涉仪测量精度的因素

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　影响激光干涉仪测量精度的因素包括：

 

　　1.激光器频率(波长)及频率稳定性;

 

　　2.测量读数软件系统带来的误差;

 

　　3.反射镜、角锥棱角误差;

 

　　4.温湿度、压力传感器误差;

 

　　当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。

 

　　激光干涉仪的校准与精度验证?

 

　　激光干涉仪在购置投入使用前应进行关键性能的验证。且随着使用年限的增加，激光干涉仪(包括环境补偿系统)的性能可能会因老化或使用不当出现衰退，对测量精度造成影响。因此需要定期对激光干涉仪测量系统的关键性能参数进行校准，以确保在精密测量应用中获得准确的数据结果。根据国家计量检定规程的要求，需要对激光干涉仪激光频率、测距误差、测角误差、环境补偿传感器进行定期校准。