激光干涉仪精度误差补偿系统的应用

　　

 

　　激光干涉仪精度误差补偿系统的应用

 

　　激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

 

　　激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

 

　　激光干涉仪精度误差补偿系统的应用

 

　　1.硬件平台

 

　　本试验平台选用科德数控股份有限公司自主研制的五轴高档数控机床KMC800，使用激光干涉仪对其进行误差数据采集和直线轴精度测试。平台设计如图1所示，试验中所选用的数控系统为科德数控股份有限公司自主研发的高档五轴数控系统GNC61，激光干涉仪为雷尼绍公司的产品。

 

　　2.精度补偿的前提条件

 

　　在进行精度补偿时，机械精度误差往往会掺杂进来，所以在对机床进行定位精度检测前，需要调整完毕机床各轴的平行度和垂直度等几何精度，以尽量减少几何精度对定位精度的影响。

 

　　3.试验数据

 

　　精度补偿前的试验数据如图6所示，补偿后的试验数据如图7所示。表中列出了补偿前后的实际数据对比。