4D动态干涉仪的优点
2020-12-31来源：网络作者：网络标签：激光干涉仪
激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
4D动态干涉仪的优点及其应用：
1.适合于恶劣环境下的测量
•快速测量–测量速度只受曝光时间限制，而不受CCD帧频限制!
•对振动不敏感
•减少了气流的影响－可以使用风扇均化光路气流
2.适合于挑战性的测试设置
•大尺寸光学元件与系统
•长光程测量－不需防振台，对光强要求降低
•真空与环境仓内的测试
3.适合于高难度测试
•运动和共振检测
•ESPI电子散斑
•生产环境下检测
•超快过程的检测
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