序1 序2 前言
第1篇 气相沉积技术基础及各种气相沉积技术
第1章 气相沉积技术概述
第2章 化学气相沉积技术
第3章 物流气相沉积技术
第4章 等离子体增强化学气相沉积技术
第5章 气相沉积设备
第6章 预处理主要辅助设备
第7章 膜层质量测试
第2篇 气相沉积技术应用领域
第1章 气相沉积技术在硬质图层中的应用
第2章 气相沉积技术在防护涂层方面的应用
第3章 气相沉积技术在光学薄膜领域中的应用
第4章 气相沉积技术在建筑镀膜玻璃方面的应用
第5章 气相沉积技术在太阳能利用领域的应用
第6章 气相沉积技术在集成电路制造中的应用
第7章 气相沉积技术在信息显示器件中的应用
第8章 气相沉积技术在信息存储领域的应用
第9章 气相沉积技术在装饰饰品上的应用 参考文献
20世纪70～80年代，由于真空技术、薄膜科学与技术和表面物理相结合，使气相沉积技术迅速崛起，亦促进了薄膜产品的开发与应用。气相沉积技术包括化学气相沉积、物理气相沉积和等离子体化学气相沉积。它既是综合性的应用技术，又涉及到许多跨学科的理论基础。可以说，目前采用气相沉积技术几乎能在任何基体工件上，按照不同的性能要求，沉积出各种材料的涂层，以满足实际应用的需要。 当今，世界上一些工业发达的国家，正是由于气相沉积技术日新月异地向前发展，因而在卷缠镀薄膜产品、塑料金属化制品、硬质涂层工模具、防护涂层、光学薄膜、建筑和汽车挡风窗玻璃、太阳能电池、集成电路、信息显示和存储器件等方面都已具有相当大的生产规模。 在我国，目前直接或间接从事气相沉积技术的工程技术人员、科技工作者人数很多，跨越轻工、机械、电子、能源、材料、信息、航空航天等各个行业，而且这支队伍正在迅速扩大。在膜系开发、工艺研究、设备研制、薄膜质量检测与机理研究方面都取得了可喜的成绩。由于气相沉积技术与高新技术密切相关，而且与许多学科互相交叉、互相渗透。其中不仅需要大量的人力、物力、财力，更需要进行智力投资，其中包括高水平专业人才的培养、普遍的知识更新、在职工程技术人员与工人的再学习等。 《气相沉积应用技术》的出版，适应了我国气相沉积技术发展以及从事这一领域工作人员的知识灵新和提高的需要。本书资料齐备新颖、编辑全面系统、论述详尽深刻。内容涉及各种气相沉积技术的原理、设备、工艺、膜层的质量检测和分析以及在各个领域的应用等方面。相信本书的出版对于我国气相沉积技术进一步的发展和推广应用将会产生强有力的推动作用。 作为固体表面科学重要分支的气相沉积技术，从物理和化学反应基础理论角度已发展到相当完善程度。当前已开发出一系列在金属和/或非金属材料表面牢固沉积异种金属或非金属及其化合物，以改善其表面物理和化学性能的方法。各种气相沉积从基础理论到工艺技术及其在工业应用的纵深延伸，显然已成为一个耀眼的高科技领域，被世界先进工业国家高度重视。 种类繁多的气相沉积层分别具有高硬度、耐磨损、耐腐蚀、抗高温氧化、特殊光学性能、超导性以及获得悦目色彩的表面装饰功能，从而在航空、航天、机械制造、兵器、化工、光学、电工、计算机器械、车辆、建筑、包装和工艺美术制件、制品上获得越来越广泛的应用。 在我国，气相沉积技术自20世纪70年代开始在气相沉积技术的基础研究、工艺开发、设备研制、推广应用方面都取得了很大进步。有的涂层设备和气相沉积产品还推向国际市场。我国的材料工程学者和热处理工程师在所从事的多年研发中为气相沉积技术的发展作出了卓越贡献。 王福贞教授是北京市有突出贡献专家，在物理气相沉积理论上有深刻钻研，在此领域的工业设备和关键元器件开发上有丰富的实践经验和创新。她于三十年前就在北京工业大学和北京联合大学从事物理气相沉积技术的研究开发，先后进行活性反应离子镀膜机、空心阴极离子镀膜机、矩形平面大弧源离子镀膜机等工业设备的开发，并成功地研发出柱状阴极电弧源和阴极电弧源离子渗金属设备和工艺，为提高离子渗镀效率和改善离子沉积设备性能和沉积效果做出了杰出贡献。 马文存研究员级高级工程师曾任成都工具研究所涂层技术研发部主任，是国家有突出贡献专家。他从1971年至今一直从事刀具、模具、机器易磨损件的化学气相沉积基础理论、工艺技术及生产设备的研发和推广应用，先后承担多项国家重大科研攻关项目，所获成果不乏达到国际先进水平者。他为我国气相沉积硬质涂层技术的发展和实际应用做出了重大贡献。 王福贞教授和马文存研究员合著的《气相沉积应用技术》一书系统地阐述了气相沉积技术的理论基础、各种沉积技术的原理、工艺过程、设备和配套设施、工件的前处理和后检验，以及在工业领域和各种制件、制品上的应用效果，介绍了国际上气相沉积的最新成就，广泛收集了我国的研发成果，总结了国内应用的成功经验，堪称是气相沉积技术在我国第一本理论结合实际、而又特别注重生产应用、内容十分丰富的杰作。这本书的出版必将进一步推动我国气相沉积技术的发展，更有利于在工程技术人员和工科大专院校教学中普及气相沉积知识，以及扩大其在工业中的应用，更能发挥其节能节材的巨大潜力，产生更大的经济社会效益。
