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详细介绍
描述
| YSi-SP | ||
|---|---|---|
| 对象基板尺寸 | L510mm×W460mm ～ L50mm×W50mm（单轨机型） ※轨机型 | |
| 水平分辨率（FOV尺寸） | 1）25μm / 12.5μm（约50×50mm） 2）20μm / 10μm（约40×40mm） 3）15μm / 7.5μm（约30×30mm） ※均为标准选择式 | |
| 高度分辨率 | 1µm | |
| 检查项目 | 锡膏印刷状态（体积、高度、面积、位置偏移） | |
| 电源规格 | 单相 AC 200/208/220/230/240V ±10% 50/60Hz | |
| 供给气源 | 无需空气 | |
| 外形尺寸（突起部除外) | L904×W1,080×H1,478mm | |
| 主体重量 | 约550kg | |
- 规格、外观如有变动，恕不另行通知。
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