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详细介绍
特征：
直線度可達10um
X軸zui大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構之定位平台
良好接地設計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
zui大速度可達5m/s
標準重現精度1um或以下
位置回饋系統解析度zui低可達50nm
应用：
半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能製造設備
PCB設備
水刀設備
鑽石切割產業
AOI檢測設備
工具機
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泰州市海陵区欧菱自动化设备有限公司 |
| 参考价 | 面议 |
更新时间：2018-05-14 09:00:00浏览次数：576
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特征：
直線度可達10um
X軸zui大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構之定位平台
良好接地設計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
zui大速度可達5m/s
標準重現精度1um或以下
位置回饋系統解析度zui低可達50nm
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