SP54-4DU单面抛光机（520单面抛光机）

产品用途、适用范围及特点

本机主要用于蓝宝石片状材料的单面抛光，也可用于碳化硅、石英、硅片、锗片、铌酸锂、玻璃等硬脆材料平行平面的单面高精度、高效率抛光。

该机采用触摸界面及PLC控制。为用户提供开放式的图形操控界面，充分发挥机械硬件性能；该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点；四个上抛头主动旋转，压力控制采用电气比例阀任意设定，且每个头均可单独控制；上下抛盘均采用循化冷却水强制冷却，温度控制精确。

设备传动结构及布局

4.1主轴系统位于设备的下方，由电机通过窄V带拖动蜗轮蜗杆减速箱，减速箱与轴直连，保证了其运转精度, 下盘采用交叉磙子轴承定位支撑，运转刚度和精度都得到了良好的保障，下盘轴下部装有旋转接头，用于抛盘内通冷却水；

4.2上抛光系统头位于设备的上部，上抛光头的升降及加压由气缸实现，上盘设有冷却水通路用于上抛头的冷却，上抛头的旋转由减速电机通过齿轮直接驱动；

4.3在下抛盘中间设有可升降的一个中心导轮装置，在接液盆边缘部位设有四个外导轮装置，二者配合可实现工件盘的自动定位；

4.4在设备的上部横梁正面设有主操作面板，可进行参数设定，运行监控等功能，在横梁的侧面各有两个小操纵板用于四个上抛头的升降操作；

4.5在设备后部箱体上装有液路系统，设有上下盘冷却水、抛光液、清洗水的通路；

4.6在设备的前部箱体与横梁两侧装有前立柱，用于横梁的辅助支撑，立柱高度方向可微调；

4.7在箱体的右侧设有两个加油口，用于主轴两组轴承的润滑；

4.8在横梁上装有红外测温装置，用于抛盘盘面温度的监测；

4.9在下抛盘的外侧设有可滑动的防护罩，可防止工作液的飞溅，减少有害气体的溢出；

4.10抛光液供给系统具有抛光液冷却、抛光液搅拌等功能；

4.11历史数据（温度、压力、转速、时间等）可导出

4.12界面密码分级管理，可根据 不同权限设置