详细介绍
Talysurf CCI非接触式光学干涉表面轮廓仪,一台*的光学仪,采用了创新的相关相干算法,对抛光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者台阶的表面进行扫描,获取表面的三维形貌数据。
型号 | CCI |
测量方法 | 相关相干干涉(CCI) |
Z轴分辨率 | 0.01nm |
Z轴测量范围 | 2.2nm |
RMS重复性 | <0.02nm |
测量面积(X.Y) | 6.6x6.6mm |
特点 | 非压电陶瓷闭环Z轴控制,提高精度,不易损坏 |
应用范围 | MEMS, 芯片,膜厚,镜头和玻璃表面分析,磨损测试和摩擦学,材料分析,太阳能电池,等 |