详细介绍
技术特点:
1. 采用静承+气浮轴承,可靠性更高;
2. 气浮轴承兼具密封功能,密封气流开启时液压油无泄漏;
3. 采用水溶性液压油,可用纯水清洗;
4. 转台台面直径250毫米,配备真空吸盘后可用于12吋Sic晶圆磨削;
5. 高刚度:主轴轴向刚度大于1000 N/µm,转台轴向刚度大于3000 N/µm;
6. 高精度:主轴、转台轴向/径向回转精度< 0,25µm;
7. 具备优秀的减振特性,成品率更高 ;
8. 静承无磨损,机床精度长期保持;
9. 静承采用的PM流量控制器调节油腔流量,高承载,高刚度 。
| 静压主轴 | 静压转台 |
供油压力 | 50 bar | 50 bar |
液压油粘度 | HLP-PAO 5 | HLP-PAO 46 |
转速 | 4000 rpm | 600 rpm |
径向承载 | 1.000 N | 1.000 N |
轴向承载 | +/- 1000 N | 1000 N |
径向油膜刚度 | 450 N/µm | 600N/µm |
轴向油膜刚度 | 1000 N/µm | 3000N/µm |
液压油流量30°C | 3-8 l/min | 1.7 l/min |