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详细介绍
技术特点：
1. 采用静承+气浮轴承，可靠性更高；
2. 气浮轴承兼具密封功能，密封气流开启时液压油无泄漏；
3. 采用水溶性液压油，可用纯水清洗；
4. 转台台面直径250毫米，配备真空吸盘后可用于12吋Sic晶圆磨削；
5. 高刚度：主轴轴向刚度大于1000 N/µm，转台轴向刚度大于3000 N/µm；
6. 高精度：主轴、转台轴向/径向回转精度< 0,25µm；
7. 具备优秀的减振特性，成品率更高 ；
8. 静承无磨损，机床精度长期保持；
9. 静承采用的PM流量控制器调节油腔流量，高承载，高刚度 。
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| 静压主轴 | 静压转台 |
| 供油压力 | 50 bar | 50 bar |
| 液压油粘度 | HLP-PAO 5 | HLP-PAO 46 |
| 转速 | 4000 rpm | 600 rpm |
| 径向承载 | 1.000 N | 1.000 N |
| 轴向承载 | +/- 1000 N | 1000 N |
| 径向油膜刚度 | 450 N/µm | 600N/µm |
| 轴向油膜刚度 | 1000 N/µm | 3000N/µm |
| 液压油流量30°C | 3-8 l/min | 1.7 l/min |
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