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【集成单元】
通过紧凑集成标准化部件，构建工艺气体供气线。
实现了可高速置换工艺气体和惰性气体的理想流路。
从设计到装配、检查完成后交付，可减少客户的工时。
| 型号 | 名称 | 内容 | 尺寸 | 配管方式 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| IAGD3 | 集成化供气系统 | - | - | CS密封 | |
| MAGD3 | 集成化供气系统用元件 | 气控阀 | 1.5inch | - | |
| MOGD3 | 集成化供气系统用元件 | 手动阀 | 1.5inch | - | |
| MFGD3 | 集成化供气系统用元件 | 流量调节阀 | 1.5inch | - | |
| MCGP3 | 集成化供气系统用元件 | 单向阀 | 1.5inch | - |
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