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单向阀迅速排出2次侧压力。无需旁通回路,配管也很容易。行业
压力上升时,将压缩空气排放至大气,以保持设定压力。行业
小型减压阀。行业
采用禁油规格•不锈钢阀半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外,由于紧凑•大流量,因此适合空气(N2)吹气。行业
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