超精密光学加工设备——超精密单点金刚石车床DJC-100D

DJC-100D超精密单点金刚石车床是针对于光学模具的制造专门设计的超精密加工机床，口径可达到100mm，加工工件表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV值<0.1μm。可加工各种高精度平面、球面、非球面及离轴元件和阵列光学模具。可加工铜、铝、化学镀镍，单晶锗、硒化锌、树脂、PMMA等材料。在三轴联动模式下还可加工离轴元件、柱面、子午面等非回转对称元件和阵列模具，配以特殊刀具可以实现微结构元件的加工，如各种衍射元件和菲涅尔透镜等，是各种精密光学模具超精加工的设备。

   技术参数

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      Z轴（沿主轴）

•      行程：          150mm
•      直线度：              0.1μm/100mm
•      分辨率：              1nm
•      进给速度：   20mm/s

      X轴（垂直于主轴）

•      行程：           220mm
•      直线度：               0.1μm/100mm
•      分辨率：               1nm
•      进给速度：     20mm/s

     Y轴（刀架高低调整轴）

•   行程：           20mm
•   直线度：               0.1μm/100mm

     主轴（工件轴）

•      径跳和端跳 ：      0.05μm
•      主轴转速：           0-6000rpm
•      主轴旋转定位精度：       ≤5"
•      主轴旋转重复定位精度：≤2"

  机床配置

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1.      采用超精密空气静压主轴，无摩擦损耗，回转精度高
2.      天然花岗岩基座，保证机床长久稳定性
3.      带整体隔震的独立机床主体，隔绝电柜和操作位置的震动，保证的加工表面。
4.      高刚性的滚针导轨设计，具有超高的运动重复精度，排除油压导轨的温度和周期性波动，加工出更高面型精度的模具零件。
5.      电控的刀具升降运动轴，可以进行0.1μm精度级别的中心高校正。
6.      X/Z轴均采用直线电机驱动，超高精度的运动反馈精度，可以达到31.25皮米的反馈分辨率。
7.      高精度的在线动平衡调整功能，保证主轴的运转在状态。
8.      自主研制的控制系统，采用自主控制算法，实现纳米级的精度控制。
9.      光学对刀系统，提高刀具更换的速度，方便操作。
10.      PMAC开放控制卡，可根据需要调整用户界面

使用环境要求
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1.要求隔震地基，设备在温度:20±2℃，一天内温度梯度小于2℃。湿度：＜50%的环境下使用。
  2.空气过滤精度：0.5um。除油、除水。
  3.空气压力：≥0.6MPa。
  4.空气流量: ≥0.3m³/min。
  5.电源：380V，设备功率：≤5KW。