超精加工是用细粒度的油石条以较低的压力和切削速度对工件表面进行光整加工，加工中有3种运动:工件低速旋转运动：超精头轴向进给运动：油石条往复振动。超精加工大致可分为4个阶段:
1.强力切削阶段
超精加工时油石条磨粒细，压力小，工件与油石条之间的润滑油易形成油膜，但开始时，由于工件表面粗糙，少数凸峰单位面积压力很大，破坏了油膜，故切削作用强烈。
2.正常切削阶段
当少数凸峰磨平后，接触面积增加，单位面积压力降低，致使切削作用减弱而进入正常切削阶段。
3.微弱切削阶段
随着接触面积逐渐增大，单位面积压力更小，切削作用微弱，细小的切削形成氧化物嵌入油石条的空隙中，因而油石条产生光滑表面，具有摩擦抛光作用而使工件表面抛光。
4.自动停止切削阶段
工件磨平后，单位压力很小，工件与油石条之间又形成油膜，不再接触，故切削作用停止。