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北京瑞邦精控科技有限公司
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| 产地 | 国产 | 应用范围 | 打磨,铣削,清洗,抛光/去毛刺,服务型,其他应用 |
|---|
王欣悦1-8-1；
4-5-6-6；
8702。
QFL-XY系列双轴气浮运动台
产品特点
开式气浮叠层结构 结构紧凑、精度高
重复定位精度±50nm 直线度±0.1μm，平面度±0.15μm
QFL-XY系列双轴气浮运动台应用领域
QFL-XY系列是一款结构紧凑的双轴气浮运动台，用于飞秒激光加工，超精密加工、测试测量、高精度扫描、半导体及光子学等行业，由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
QFL-XY系列双轴气浮运动台结构特点
双轴气浮运动台采用开式气浮导轨，直线电机和光栅尺组成，永磁预载结构，XY轴叠层具有体积小，精度高、工作点低等特点，能有效降低阿贝误差。X轴比Y轴宽，作为底轴，整体性能更稳定。非接触式气浮结构，免维护运行，随着时间推移，不会出现磨损或性能下降。
精度性能
QFL-XY轴双轴气浮运动台的定位精度±0.1μm，双向重复定位精度±50nm，直线度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上为全行程精度指标，由于非接触式运动结构，气浮运动台的跟随误差有了质地提升，精度性能得到显著提高。
线缆管理
使用高质量的高柔排线和气管，线管弯曲半径产生的扰动力影响可忽略不计，运动中线缆和气管不影响气浮运动台的性能。此外，可提供带屏蔽高柔线缆，提供系统抗干扰能力。
定制化
根据应用，结构可定制化设计，如增加平升或楔形Z轴，转台等。可配置大理石基座、立柱及横梁，XY轴安装到大理石基座上，Z轴安装桥架上。可选配主动隔振系统，适合高抖动的应用领域。
规格指标
型号 | 单位 | QFL-50XY | QFL-100XY | QFL-150XY | ||||
轴系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 50 | 50 | 100 | 100 | 150 | 150 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | |||
标准值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | |||
标准值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |||
标准值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||
标准值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 5 | 2 | 2 | |||
标准值 | 10 | 5 | 5 | |||||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（选配） | ||||||
速度 (空载) (4) | mm/s | 200 | ||||||
加速度 (空载) (4) | m/s² | 1,（5 定制） | ||||||
负载 | kg | 10 | ||||||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下指标，速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨不建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
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