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北京瑞邦精控科技有限公司
北京瑞邦精控科技有限公司
| 产地 | 国产 | 应用范围 | 其他应用 |
|---|---|---|---|
| 轴数 | 单轴 |
王，1-8-1；4-5-66；8-7-0-2。QFR系列气浮转台
产品特点
Ÿ 闭式气浮结构 Ÿ 直驱零齿槽效应
Ÿ 定位精度±0.5arc sec Ÿ 同步跳动误差10nm
结构特点
QFR系列气浮转台由无齿槽直驱力矩电机、闭式气浮轴承和圆光栅反馈组成，提高定位性能。闭式气浮结构设计使工作台面降低，减小系统误差影响。具有高轴向刚度和大承载能力。解决气浮抱死的问题，力矩电机固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，适合在各种速度下平滑转动。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列气浮转台同步轴向跳动误差和径向跳动误差10nm，摆角误差3μrad，负载100kg，电动控制和手动转动跳动误差一致，使用寿命10年以上。
闭环反馈
使用圆光栅闭环反馈，分辨率优于0.01arc sec，同时采用高性能控制系统，优化气浮结构，气浮转台能精准回零。
定制化
可安装滑环，用于空间模拟装置，MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
型号 | 单位 | QFR-100 | QFR-200 | QFR-300 | ||
行程 | ° | 360 | ||||
台面直径 | mm | 134 | 184 | 284 | ||
通孔直径 | mm | 16 | 22 | 40 | ||
补偿后定位精度 | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | |||
标准值 | ±2 | |||||
双向重复定位精度 | Plus (1) | arc sec | ≤0.5 | |||
标准值 | ≤1 | |||||
轴向跳动误差 (2) | Plus (1) | nm | 10 | |||
标准值 | 200 | |||||
径向跳动误差 (2) | Plus (1) | nm | 10 | |||
标准值 | 200 | |||||
摆角误差 | Plus (1) | μrad | 3 | |||
标准值 | 6 | |||||
电子分辨率 (3) | arc sec | ＜0.01 | ||||
速度 (空载) (4) | rpm | 300,（≥1000 定制） | ||||
负载 | 轴向 | kg | 20 | 45 | 100 | |
径向 | 12 | 27 | 60 | |||
供气压力 (5) | MPa | 0.5±0.05 | ||||
空气消耗量 | SL/min | 26 | 35 | 60 | ||
自重 | kg | 5 | 10 | 26 | ||
材料 | / | 航空7075铝合金（表面氧化处理） | ||||
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在转动台面上25mm处
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 轴向和径向跳动为同步跳动误差，测微仪和标准球测量，计算为值-最小值-标准球误差-同心度。
3. 电子分辨率取决编码器线数及控制器的细分倍数。
4. 转速取决于负载大小，定制转速7800 rpm。
5. 为保护气浮轴承建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
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