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| 产地 | 进口 | 类型 | 其他流体泵 |
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SHINKO神港精机SSX300真空泵
SHINKO神港精机SSX300真空泵
二，薄膜成型设备
10，负载锁定型气相沉积设备。AAMF-C845SB-L，AAMF-C1065SB-L，AAMF-C1275SB-L，AAMF-C1260SB-M
11，卧式气相沉积设备。AAMH-C1075SB，AAMH-C1080SB，AAMH-C20130SB
12，直列式气相沉积设备。CE-C450B，CE-750B，CE-C1040B
13，研发用气相沉积设备。EM-330S，EM-435S，AM-645SB，AMF-645SB
14，用于大尺寸树脂基板的气相沉积设备。
15，特殊规格气相沉积设备。AMF-1675SB，AMF-1690SB，AMF-22100SB
16，等离子体CVD设备。
17，等离子聚合设备。
SHINKO神港精机SSH 100真空泵
SHINKO神港精机SSH150 真空泵
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