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布莱玛 BERARMA 02 PVS-PSP-PHC 3叶片泵
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SHINKO神港精机SSH 100真空泵
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三,硬质膜成型设备
1,电弧放电磁控溅射成型设备。
2,PIG式DLC成膜设备。
3,电弧放电式高真空离子镀设备。
四,等离子处理设备
1,腔室ICP蚀刻机。
2,等离子蚀刻机EXAM。
3,高密度等离子机SWP。
4,ICP等离子蚀刻机SERIO。
5,等离子清洁机POEM。
五,焊接设备
1,真空焊接机。
2,等离子回流机。
3,大气输送炉。
六,真空热处理设备
1,高真空热处理炉。
2,高真空退火炉。
3,真空烘烤炉。
4,真空干燥机。
5,真空烧结炉。SVRF-1535,SVRF-2550,SVRF-3060,SVRF-3090
七,光学检测设备
1,轴承测量投影仪。ST-200HN,ST-205LN
2,偏光计。SP-125,SP-Ⅱ,SF-Ⅱ,SF-ⅡC,SF-ⅡL
SHINKO神港精机SSH150 真空泵
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