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更新时间：2023-11-06 16:26:38浏览次数：204次

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电阻电子束沉积

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产品简介

产地	国产	售后保修期	12个月
销售区域	全国

半导体制程PVD沉积台

详情介绍

●本装置使用电阻蒸发、电子束蒸发和离子源辅助清洗、辅助沉积和原位刻蚀进行复合，用于制备特种薄膜，薄膜具有均匀性、附着力、抗损伤、低颗粒物污染等特点，是半导体制程中关键工序的核心装备，其技术长期被美国、日本等国技术所垄断，属于国内卡脖子装备，也是制约国内半导体领域自主可控的关键设备，该设备的技术突破和产业化对国内半导体产业发展具有积极意义。