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准源激光技术河北有限公司
准源激光技术河北有限公司
| 产地 | 国产 |
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Ex-Power是新一代准分子激光剥离系统。采用了高稳定性的激光器作为光源，通过精密的光学系统设计，在光束传导过程中，对激光光斑进行整形和匀化，并通过专用的投影物镜，将激光均匀照射在材料表面。该系统具备结构紧凑、光斑匀化效果好、传输效率高、能量密度大等优势。将紫外准分子激光技术和高精度的机械运动系统相结合，大大提高了激光剥离的质量和效率，非常适合工艺研发和批量工业生产。
准分子激光剥离系统
技术特点：
1、193/248/308nm 激光器，短脉宽，高峰值功率；
2、静态气体寿命 >30 天；
3、激光器寿命 >5亿次脉冲；
4、能量密度 10J/cm²；
5、多种光路方案，可定制；
6、同轴机器视觉示意图，所见即所得，反射/透射同轴照明；
7、X，Y位移台安装在刚性花岗岩基座上，线性驱动，±1mm精度；
8、电动焦点控制（沿 Z 轴）；
9、配有同轴和离轴相机，模式识别软件可选；
10、功能全面，易于操作的专用加工软件；
应用领域：
1、LED 蓝宝石衬底剥离；
2、柔性屏与玻璃基板剥离；
3、微流控芯片；
4、柔性电路板加工；
5、玻璃表面微结构；
6、MiniLED剥离；
7、MircoLED剥离巨量转移；
8、激光修复；
9、晶圆与载体激光解键合；
光束传播特点：
1、能量控制范围 10-80%；
2、缩倍比 4x-20x；
3、焦距 25mm~150mm；
4、目标能量密度 0.25-10J/cm² ；
准分子激光传输/照明/机器视觉系统示意图
准分子激光剥离系统参数：
| 波长 | 193nm / 248nm / 308nm |
| 脉冲宽度 | 5-20ns |
| 单次剥离尺寸 | < 0.2x0.2mm方光斑或50x0.1mm线光斑 |
| 光学分辨率 | 1um |
| 能量密度 | 10J/cm² |
脉冲稳定性 | ~1% |
| 脉冲重复频率 | 1-100Hz/1000Hz |
| 系统框架 | 大理石光学基座以及金属框架结构 |
| 机器视觉 | 同轴照明/观察，所见即所得 |
| 投影物镜 | 紫外超长工作距离物镜 |
| X/Y轴电动平台 | 100mm x 100mm/200mm x 200mm/300mm x 300mm，±1um重复定位精度 |
| Z轴电动平台 | 25mm，±1um重复定位精度 |
| 电动衰减器 | 10%-80%电动连续可调 |
| 控制软件 | 10%-80%电动连续可调 |
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