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详细介绍
特点
- 自动识别储片盒内晶圆和垫纸（层间纸）
- 一台设备可以完成打包和拆包的功能
- 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
- 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
- 可自动识别晶圆高度
- 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
- 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
- 配备2套高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
- 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)
能够安全，准确地搬运储片盒内的减薄晶圆。
搭载储片盒自动开盖机构（已申请）
应用设备实例
半导体工厂生产线
规格
| 可对应片盒的种类 | 200 mm 储片盒, 200 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬运物 | 200 mm 硅晶圆, 200 mm 储片盒内垫片(片间垫片) | |||
| 洁净度 | ISO标准 Class 2 (驱动结构内部独立排气条件下) | |||
| 外形尺寸 | 1600 (宽) x 1305 (深) x 1800 (高) | |||
| 厂务 | 电源：AC200V±10% 洁净气源：0.5 MPa 150 NL/min 以上 | |||
| 重量 | 700 kg | |||
*我司可以针对客户对晶圆尺寸、储片盒数量、是否需要校准器等不同需求提供订制设计。
有关产品规格等事宜敬请咨询我司。可对应多家厂商规格的储片盒。更多信息请咨询弊司。
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