4轴圆柱坐标型洁净机械手臂

特点

可用于G4.5尺寸玻璃基板的搬运，双手臂结构，玻璃基板搬运效率更高



• 机械手臂标准臂长：400 mm，500 mm
• Z轴（升降轴）标准长度：400 mm，500 mm，600 mm，760 mm，900 mm（Z轴超过760 mm以上为多段式，实物和照片的外观不同）
• 可搬运重量：手臂第3关节处基准15 kgf以下(400 mm，500 mm)
• 双臂结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
• 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
• 配备动作监视器
• 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
• 全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
• S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
• 基板固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
• 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
• 手指可以安装多种传感器（校准，有无，Mapping等）
• 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指

应用设备实例

AOI设备；液晶工厂内生产线