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详细介绍
特点
- 适用于并列配置工位的传送
- 非接触校准功能可实现高精度的搬运
- 可搬运重量10kg
带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂
应用设备实例
AOI设备
规格
| 被搬运物 | 基板 500 mm x 500 mm | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （被搬送物体中心到达距离） | 1290 mm | 330 度 | 400 mm |
| 搬运速度* | 1170 mm/1.6 sec | 330 度/1.5 sec | 400 mm/1.4 sec |
| 精度* | 第1关节轴 (J1轴) | 第2关节轴 (J2轴) | 第3关节轴 (J3轴) |
| 3.5x10-3 度 | 1.8x10-3 度 | 1.8x10-3 度 | |
| 第4关节轴 (J4轴) | |||
| 2.4x10-3 度 | |||
| 重复性精度 | ±0.2 mm以内 | ||
| 洁净度 | 0.3 µm/cf Class 10 (驱动结构内部独立排气条件下) | ||
| 厂务 | 电源：単相AC200V±10% 4 kVA 真空：优于-53 kPa | ||
| 质量 | 机械手臂本体 大约120 kg | ||
*测试机型：JCR4400-400-AM（带有对应PLP自动校准功能的机械手臂）
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