详细介绍 • 高精度矩形直角尺是用于校验诸如机床三坐标测量机、机床、形状测量机、半导体相关设备等设备中的动件的运动直线度和与轴垂直度的量规。 • 提供了四个精磨处理基准面。 • 直线度和垂直度都优于 1µm/300mm 。此外，正面和背面都精确优于 5µm/300mm 。
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