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详细介绍
• ø306mm 屏幕能使正像更加清晰可见。
• 使用具有等焦 3- 镜头卡扣式旋转盘。
• 使用升降立柱机械结构。
• XY 手柄内的快速释放控制能使工作台进给在粗调和微调之间切换。
• 所有型号均为带光栅尺的高精度工作台。
• 所有尺寸工作台在 X 和 Y 轴方向均可实现( 3+0.02L ) µm 的高测量精度。
• 高精度寻边器 ( OPTOEYE ) 的型号。
• 测量范围 ( 300 × 170mm ) ，为同类产品中。
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