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NANOMETRO® TT系列

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更新时间:2022-10-20 17:47:45浏览次数:475

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产品简介

同步检验表面形状、背面形状和平整度!NANOMETRO®TT系列是用于纵向旋转、边缘夹持式晶圆的平整度测量装置。边缘排除区最小1mm,可进行盒至盒的高精度自动测量。评价项目依据SEMI标准。

详细介绍

特点

  • 平整度测量例

nanometro_TT_feature_001.gif

  • 边缘排除区1mm

nanometro_TT_feature_002.gif

  • 边缘排除区3mm

nanometro_TT_feature_003.gif

  • 放射状测量数据

nanometro_TT_feature_004.gif

  • 边缘滚降分析

nanometro_TT_feature_005.gif

  • 边缘鸟瞰图、截面图

nanometro_TT_feature_006.gif

<Edge Roll-off分析>
根据表面和背面同步检测得到的放射状测量结果,提供符合客户需求的分析软件。

性能、规格

项目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程 φ300mm φ200mm
显示分辨率 1nm
测头 非接触激光位移计
测量方式 纵向旋转方式

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