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详细介绍
精密平台是源自艾塞路的理念 、实现了超高速・高刚性!! 大大缩短了间隙时间。 产品目录以外式样、也可接受咨询。
- 超高速定位
电机直接连接凸轮驱动方式，100mm/sec - 高刚性・高精度
搭载滚针方式滚针导柱。X・Y方向重复定位精度±1.5µm以下。 - 紧凑设计
电机机内配置，防止电机外部碰擦。
结构・优点
采用高真直性的滚针导柱、X・Y方向重复定位精度±1.5µm以下！！
精密平台实现「超高速」「高刚性」「高精度」的三位一体。
驱动方式
采用电机直接连接凸轮驱动方式。实现令人惊异的高速定位。（100mm/sec)
紧凑形状
精密平台将电机配置在内部。不会发生电机碰擦到外部零件、节省空间设计。 另外、上・下限节点及原点感应器也配置在内部。
精密凸轮
1 采用艾塞路技术精密研磨的凸轮、达到稳定的精度定位 。
导柱方式
2 采用4支高精度・高刚性滚针方式导柱「滚针导柱」。成功兼容刚性和润滑。
高精度电动缸
3 搭载（株）ハーモニック・ドライブ・システムズ公司的超扁平・高精度AC伺服电动缸FHA-Cmini系列 。 实现了小型 、高出力・高精度 。
用途例
- 各种检查、测定用定位装置
- 半导体相关制造装置
- 太阳能平板相关制造装置
- 各种连接装置 など
产品呼称（型号）
产品阵容／标准式样
轻巧紧凑的轻量型和高真直性的高精度型2种标准式样。
尺寸图／尺寸表
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