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详细介绍
阶差规
516系列
特点：
l 阶差减小的高度从到NO.5。
l 相邻阶差校准的分辨率0.01μm，使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm
l 可选用钢制型和陶瓷型。
l 阶差规用于校准相邻高度的精度。
性能参数
公制型
| 货号 | 备注 |
| 516-198 | 钢制型（阶差：10μm/5μm/2μm/1μm） |
| 516-199 | 钢制型（阶差：300μm/100μm/50μm/20μm） |
| 516-498 | 陶瓷型（阶差：10μm/5μm/2μm/1μm） |
| 516-499 | 陶瓷型（阶差：300μm/100μm/50μm/20μm） |
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