详细介绍
阶差规
516系列
特点:
l 阶差减小的高度从到NO.5。
l 相邻阶差校准的分辨率0.01μm,使用干涉仪的精度测量的线性偏差为±0.20μm
l 可选用钢制型和陶瓷型。
l 阶差规用于校准相邻高度的精度。
性能参数
公制型
货号 | 备注 |
516-198 | 钢制型(阶差:10μm/5μm/2μm/1μm) |
516-199 | 钢制型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm) |
516-498 | 陶瓷型(阶差:10μm/5μm/2μm/1μm) |
516-499 | 陶瓷型(阶差:300μm/100μm/50μm/20μm) |