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详细介绍
1. 系统
| 货号 | 型号 | 测量范围 | CMOS 照相机 | 照明 | ||
| X轴 | Y轴 | Z轴 | ||||
| 363-110-30 | QV-L404Z1L-D | 400 mm | 400 mm | 200 mm | 彩色 | 白色LED |
1-1. 系统图
2. 规格
2-1. 主机规格
| 本体尺寸及质量 | ||
| 测量范围 | X轴 | 400 mm |
| Y轴 | 400 mm | |
| Z轴 | 200 mm | |
| 外观尺寸 | 1303×776×1004 mm（不含专用设置台） | |
| 玻璃台尺寸(W×D) | 466×480 mm | |
| 质量 | 275 kg（不含设置台重量及附件） | |
| 性能 | ||
| 视像测量精度 L：任意两点间距离mm | E1X,E1Y | （2＋3L/1000）μm |
| E1Z | （3＋5L/1000）μm | |
| E2 | （2.5＋4L/1000）μm | |
| 精度保证条件 | 1.5×物镜/总光学倍率 5.25× ※1 | |
| 分辨力 |
| 0.1 μm |
| 光栅尺CTE[/K] |
| (10±1)x10-6 |
| 精度保障温度 |
| 20±1 ℃ |
| 移动保证温度 |
| 10~35℃ |
| 精度保证负载 |
| 低于20kg（的不平衡负载，集中负载是不可以的） |
| 各轴驱动速度 |
| 200 mm/s |
| 工件重量 |
| 20kg（的不平衡负载，集中负载是不可以的） |
| 结构 | ||
| 导向方式 |
| 直动式硬轴承 |
| 驱动方式 |
| DC伺服电机＋滚珠丝杠 （速度･位置反馈方式） |
| 基本结构 |
| 固定桥式，Y轴移动结构 |
| 空气传播噪声 | ||
| A计权声级 |
| ＜70dB(A) |
| 主要装置和功能 | ||
| 照明装置 | 同轴照明 | 白色 LED |
| 工作台照明 | 白色 LED | |
| 程控环形照明 | 白色 固定4区域LED | |
| 观察装置 |
| Zoom 镜头8级（变倍比：7） |
| 视像检出方式 |
| CMOS 彩色CCD照相机 |
| 温度补偿 |
| 无 |
※1：总倍率是光学倍率，不包括显示器倍率。
2-2. 供电装置规格
| 供电方式 |
| 单相双线系统。中性线必须接地。 | |
| 供电电压 |
| AC100～240V±10% | |
| 频率 |
| 50/60 Hz | |
| 接地 |
| 确认连接接地保护（接地电阻100Ω以下） | |
| 功率 | 本体 | 170W | |
| 电脑（主机）：参考 | 425W | ||
| 显示器：参考 | 45W | ||
| 打印机：参考 | 910W | ||
| 插孔数 | 1（4） | ||
| 功率合计 |
| 170 W（1550W） | |
2-3. 物镜规格
| 物镜 用于ZOOM | 货号 | 工作距离mm | 齐焦距离mm | 物镜倍率 | Zoom 位置 | 总倍率 （光学） | NA | FOV（mm） | |
| H | V | ||||||||
| Z-objective 1×(选件) | 02AVA410 | 74 | 102 | 1x | 1 | 0.500× | 0.024 | 13.60 | 10.80 |
| 2 | 0.650× | 0.030 | 10.46 | 8.31 | |||||
| 3 | 0.850× | 0.037 | 8.00 | 6.35 | |||||
| 4 | 1.000× | 0.041 | 6.80 | 5.40 | |||||
| 5 | 1.500× | 0.052 | 4.53 | 3.60 | |||||
| 6 | 2.000× | 0.060 | 3.40 | 2.70 | |||||
| 7 | 2.500× | 0.068 | 2.72 | 2.16 | |||||
| 8 | 3.500× | 0.080 | 1.94 | 1.54 | |||||
| Z-objective1.5×(标配) | 02AVA430 | 42 | 70 | 1.5x | 1 | 0.750× | 0.036 | 9.07 | 7.20 |
| 2 | 0.975× | 0.046 | 6.94 | 5.51 | |||||
| 3 | 1.275× | 0.056 | 5.31 | 4.22 | |||||
| 4 | 1.500× | 0.061 | 4.53 | 3.60 | |||||
| 5 | 2.250× | 0.077 | 3.02 | 2.40 | |||||
| 6 | 3.000× | 0.090 | 2.27 | 1.80 | |||||
| 7 | 3.750× | 0.101 | 1.81 | 1.44 | |||||
| 8 | 5.250× | 0.120 | 1.30 | 1.03 | |||||
| Z-objective2×(选件) | 02AVA450 | 42 | 70 | 2x | 1 | 1.000× | 0.048 | 6.80 | 5.40 |
| 2 | 1.300× | 0.061 | 5.23 | 4.15 | |||||
| 3 | 1.700× | 0.074 | 4.00 | 3.18 | |||||
| 4 | 2.000× | 0.081 | 3.40 | 2.70 | |||||
| 5 | 3.000× | 0.103 | 2.27 | 1.80 | |||||
| 6 | 4.000× | 0.120 | 1.70 | 1.35 | |||||
| 7 | 5.000× | 0.135 | 1.36 | 1.08 | |||||
| 8 | 7.000× | 0.160 | 0.97 | 0.77 | |||||
2-4. 设置环境条件
| 温度环境 | 环境温度 | 20±1℃ |
|
| 温度変化 | 2℃/8H |
|
| 温度梯度 | 1 ℃/m（高度･水平方向） |
| 振动条件 | 振动频率10Hz以下 | 振幅≦2μm |
|
| 振动频率超过10Hz | 加速度≦0.004 m/s2 |
| 推荐的湿度条件 |
| 55-65 %RH |
3. 附件
3-1. 主机标准附件
| 货号 | 品名 | 备注 | 数量 |
| 02AXA470 | QV 操作盒 |
| 1 |
| 02ZAA041 | 电源线 | 中国CCC | 1 |
| 02AXA996 | 主机专用设置台 | QV active 404用 | 1 |
| 02ATN695 | QV校准片（With hold） | 像素尺寸校准带支架（推荐） | 1 |
| —— | QVPAK（操作软件） |
| 1 |
| —— | PC系统 | 详见PC规格 | 1 |
| 99MDB631A | 用户手册英语 | 纸质版 | 1 |
| 02ATV654 | 工作台玻璃 |
| 1 |
| C420-110 | 接口卡 |
| 1 |
| 02ATS521 | QV-ConfigDisk |
| 1 |
| 99MDB632B | 介绍手册 |
| 1 |
| 02AXA990 | 用户手册光盘 |
| 1 |
| —— | 保证书 |
| 1 |
| 02AVA430 | Z-objective 1.5× | 1.5倍物镜 | 1 |
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