详细介绍
【产品名称】:RESR圆光栅系统
【产品规格】:RESR圆光栅系统
【详细内容】
雷尼绍RESR圆光栅具有的性能。RESR刻划精度达±0.5角秒、分辨率达0.004角秒,适用于精度要求的测量场合。
RESR圆光栅
RESR圆光栅是一种是在柱面上直接刻线的一体式不锈钢圆光栅。20 µm栅距RESR与RGH20和RGH35读数头兼容,而40 µm栅距RESR与RGH34和RGH40读数头兼容。
刻划精度达±0.5角秒,系统重复性达0.004角秒
提供多种直径和刻线数,可与一系列具有行业标准的控制器兼容(直径从52 mm到550 mm,刻线数从4096到86 400)
具有的锥面安装方式极大地降低了安装误差,简化了系统集成
10 mm x 10 mm小截面圆光栅
低质量与低转动惯量的设计增强了动态性能
一体式不锈钢圆光栅能够抵御振动、机械和热撞击,以及热负载
为了保证更高的加速度和减速度以及更快的恢复时间,还可提供转动量极低的"B"截面圆光栅
参考零位(具有可重复的起始位置)由单独的励磁块提供
20 µm栅距圆光栅与UHV兼容型RGH20F读数头兼容
RGH20读数头的特性与优点
读数头结构小巧,能够提供具有行业标准的模拟和数字输出
非接触式设计提供高速、可靠的操作,摩擦和磨损均为零
读数头的LED安装指示灯简化了安装过程
具有的光学滤波系统在大多数开放式光栅都不适用的条件下,仍具有优异的信号稳定性
REF接口提供自动增益控制 (AGC)、自动平衡控制 (ABC) 和自动偏移量控制 (AOC),极大降低了周期误差 (<±50 nm)
参考零位提供可重复的起始位置,而限位开关则指示轴行程的终点
可提供超高真空兼容型RGH20F版本
将RGH20与其他圆光栅读数头进行比较。
RGH34读数头的特性与优点
技术规格
系统精度 — 20 µm栅距RESR与RGH20
读数头尺寸 | 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W) 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F) 9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35) |
输出(分辨率) | RS422:5 µm、1 µm、0.5 µm、0.2 µm、0.1 µm、50 nm、20 nm(RGH20F)、10 nm(RGH20F)、5 nm(RGH20F) 模拟:1 Vpp |
细分 | RGH20 — 内置细分电路达50 nm RGH20F — REF接口(x4至x4 000)(可获得从x4至x4096的二进制细分系数) RGH35 — RGI34接口(x4至x400) |
参考零位 | 励磁块上的螺栓 |
限位开关 | 单限位(RGH40与40 µm栅距RESR具有双限位) |
速度 | 2938转/分(直径为Ø52 mm时为20 µm) |
间隙公差 | 0.8 ±0.08 mm |
栅尺类型 | 20 µm栅距(与RGH20和RGH35兼容)和40 µm栅距(与RGH34和RGH40兼容)RESR圆光栅 |
真空兼容 | 是 — RGH20F和20 µm栅距RESR |
系统精度 — 20 µm栅距RESR与RGH20
标称外径 (mm)系统精度(角秒) 52 5.6 57 5.1 75 3.9 100 2.9 101 2.9 103 2.8 104 2.8 115 2.5 150 1.9 200 1.4 | 标称外径 (mm)系统精度(角秒) 206 1.4 209 1.4 229 1.3 255 1.1 300 1.0 350 0.8 413 0.7 417 0.7 489 0.6 550 0.5 |