详细介绍
概述
使用崭新的技术,提供高速度与精确度,建立出可靠以及可信赖的测量系统。
该系统包括InSpec测量软件,可程式化的光学变焦,3X的数码变焦,非线性平台补偿,非线性光学补偿,*的LED光源系统以及温度检测仪。
InSpec测量软件功能强大:使用鼠标就能轻松编写程序,专有的系统寻边功能,*的光源控制及校正功能,与复合传感器结合,自动校正,可清晰显示测量资料及公差。
规格表
型号 | 测量行程(mm) | XY轴精度(μm) | Z轴精度(μm) | 分辨率 | 承载重量 | 外观尺寸(mm) |
Excel 1051UM/UC | 1050x1050x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x1608 |
Excel 1052UM/UC | 1050x1050x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x1788 |
Excel 1054UM/UC | 1050x1050x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2000x2088 |
Excel 1601UM/UC | 1050x1650x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x1608 |
Excel 1602UM/UC | 1050x1650x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x1788 |
Excel 1604UM/UC | 1050x1650x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1720x2600x2088 |
Excel 1651UM/UC | 1250x1650x160 | 4.2+L/200 | 2.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x1608 |
Excel 1652UM/UC | 1250x1650x250 | 4.5+L/200 | 3.3+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x1788 |
Excel 1654UM/UC | 1250x1650x400 | 5.2+L/150 | 3.8+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1850x2600x2088 |
Excel 200UM/UC | 1250x2000x200 | 5.0+L/200 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 1905x3084x1753 |
Excel 250UM/UC | 1600x2500x200 | 5.0+L/200 | 3.0+L/100 | 0.1 μm | 100 kg | 2260x3810x1753 |