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技术文章

日本加野Kanomax 3950 悬浮颗粒物检测仪Particle洁净度测试仪

阅读:514          发布时间:2022-8-20
日本加野Kanomax 3950 悬浮颗粒物检测仪Particle洁净度测试仪

重视可视性,大画面,触摸屏显示器,可在附带软件上显示测试数据
双通道: 0.1um0.3um
额定流量:2.83umin
通过实现超小型化设计,使粒子计数器嵌入装置设备成为可
0.1 um测量
4.3英寸彩色液晶
标配RS-485,Ethernet,USB
小型化!重量大幅度轻量化
以往的尺寸很难嵌入组装在半导体制造等装置中,
本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

应用范围
作为传感器嵌入到设备装置中
洁净室的清洁度管理
高清洁度区域的管理

日本加野Kanomax 3950 悬浮颗粒物检测仪Particle 洁净度测试仪

测试方法光散乱
粒径区分2粒径(0.1,0.3um)
额定流量0.1CFM(2.83L/分)精度士(符合JIS B9921 和 1$021501-4)
测量时间6秒~99分59秒(1次测量时间)
间隔时间6秒~99分59秒(测量周期)
采样次数1~999回或 连续测试
地点区分99个地点
测量格式重复,单次,连续,计算,1S0,GB*(共6种模式)
测量数据显示时间1~10秒
测量数据显示计数累计值三,超过设定设定值时蜂鸟器报警
*大可测浓度10,000,000个m
计数效率50土20%(相对于*小可测粒径附近的标准粒子)
100士108(相对于*小可测粒径的1.5倍-2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921和1S021501-4)
伪计数1/35min 以下
粒径分解能15%以下(相对0.3um的PSL粒子)
(符合JIS B9921和 IS021501-4)
采样源自带泵
显示器4.3英寸彩色液品,触摸屏显示器
记录媒体本体:USB(Host可对于打印机,USB内存使用,、Device可对于链接PC使用)Ethernet.RS485(9600,19200,38400 baud)
媒体:内存
记录数、格式:*大10,000个,CSV格式
显示语言英语,日语
电源AC 100~240 V
使用环境15~35'C,0~85%RH(无冷凝)
外形尺寸W150 X H163 X D228 mm
重量3.4kg

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