超声波清洗是基于空化作用，即在清洗液中迅速形成大量气泡并内爆，产生的冲击力将浸入清洗液中的工件内外表面的污垢剥离。随着超声波频率的增加，气泡数量增加，爆破冲击力减小。
    因此，高频超声波特别适合在不破坏工件表面的情况下清洗小颗粒污垢。通过在液体中施加高频(超声波频率)和高强度声波来产生气泡。因此，任何超声波清洗系统都必须具备三个基本要素：用于盛装清洗液的罐、用于将电能转换为机械能的换能器和用于产生高频电信号的超声波发生器。
    1.频率：20KHz，可分为低频、中频、高频三段。
    2.清洗介质：采用超声波清洗，一般有两种清洗剂：化学溶剂和水基清洗剂。清洗介质的化学作用可以加速超声波清洗的效果，而超声波清洗是一种物理作用，两种作用相结合可以充分*地清洗物体。
    3.功率密度：功率密度=发射功率(W)/发射面积(cm2)通常0.3W/cm2。超声波功率密度越高，空化效应越强，速度越快，清洗效果越好。但是，对于表面光洁度高的精密物体，长期高功率密度清洗会造成物体表面气蚀。
    4.超声波频率：超声波频率越低，越容易在液体中产生空化，而且越强，因此适用于工件(粗、脏)的初步清洗。高频导致超声波方向性强，适合精细物体清洗。

    5.清洗温度：一般来说，超声波的空化效果在30-40较好。清洗剂的温度越高，效果越明显。超声波清洗机的工作温度一般为50-70。