早期超纯水的需求主要是来自发电、医药化工、造纸等行业,水质要求相对较低,超纯水制水设备只要采用离子交换,该超纯水制水设备方法的主要缺点是化学药剂再生,既麻烦又不经济,而且由于强行树脂对一般有机分子除去效果差,出水中TOC含量高,随着半导体工业发展,对超纯水质量要求提高,从而大大的推动了纯水技术的发展,到了上个世纪末,膜技术得到了广泛的应用,微滤,超滤,电渗析和反渗透技术*的水处理技术得到了飞速的发展,膜法制备纯水取代了传统的离子交换设备系统,解决了TOC问题,满足了电子行业对纯水质量的要求取设备工艺。
超纯水设备工艺流程:
1. 预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)
2. 预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)
3. 预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)
4. 预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)
5. 预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)
6、预处理系统→一级反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→离子交换系统→用水对象(≥18MΩ.CM)