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晶圆搬运机器人

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  • 型号 NTS10
  • 品牌
  • 厂商性质 经销商
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更新时间：2022-07-07 17:43:26浏览次数：286

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产品简介

NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。

详细介绍

  • 应用分类晶圆搬运
    • 或

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