详细介绍 VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀以M-2000為主體,實現了快速大面積掃描,寬廣的光譜範圍適合各種大面積薄膜的量測,尺寸可達1.1x1.5m,光譜範圍可達245-1690nmVUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀特點:大面積尺寸樣品膜厚量測,可達1.1 x 1.5 m 均勻性掃描適用各種材料 UV-VIS-IR波長可選 智慧型使用介面,快速定義量測區域欲測試點 內建完整model,快速因應各式材料薄膜 Theta-SE橢圓儀 應用:VCSEL量測VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀