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详细介绍
光譜橢偏儀Alpha-SE非破壞性薄膜厚度量測儀是J.A. Woollam橢偏儀產品中，設計用來快速量測一般薄膜材料的簡易橢偏儀，具有高性價比，量測橢偏數據快速的特點，可進行非破壞性薄膜厚度量測，無論是，氧化物薄膜量測，氮化物薄膜量測、光阻厚度量測，只要是透光薄膜皆可量測，量測波長380-900nm，並有65度/70度/75度/90度的量測角度可調整，單點量測約3秒即可取得橢偏數據，軟體內見許多種數學函數來描述穿透膜吸、收膜層的特性：如Lorents、Gaussian、Harmonic等。
橢偏儀Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測儀特點
- 非破壞性、非接觸性：光學式量測，無須接觸與破壞樣品。
- 高度精確性與重複性：因其並非量測光之實際強度，而是量測光之強度比例，橢圓偏振較不受光源之不穩定性或是大氣環境吸收光之影響。
- 可測得極薄的膜厚：測量的Δ參數具有高度的靈敏度，所以可測得超薄的膜厚(<10nm)，可用於光阻厚度量測、氧化物量測。>
- 簡便：先進的分析軟件配合按鈕式操作便可輕鬆完成測試
- 優異：相比其他技術，先進的光譜橢偏儀為您提供更可靠的薄膜厚度及折射率數據
- 靈活：可測量各種材料：電介質、半導體、有機物、光阻厚度、氧化物...
- *：合理價格的價格擁有出色的光譜橢偏技術
- 快速：數秒鐘內完成數百個數據點的測試—結果立等可取
- VCSEL量測
- 氮/氧化物薄膜量測
- ITO量測
- OLED有機材料薄膜量測
橢圓偏光儀Alpha-SE非破壞性薄膜/光阻厚度量測
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