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详细介绍
MicroMaster準分子雷射加工系統 特點
- 採用ATL的300Hz高重複頻率的193nm或248nm準分子雷射器：適合雷射雕刻直寫，快速刻蝕圖形
- 雷射器維護簡便，運行費用低
- 的LightDeck光路系統，精密靈活的操縱控制
- 高精度電控x-y掃描平臺,和z軸自動聚焦控制
- 微孔，微槽加工，微小工件加工
- MEMS，MOEMS器件研發與生産（非矽器件）
- 醫學
- OLED聚合物、金屬膜選擇性去除
- 光纖包層等有選擇性去除
- 微米、納米科學研究
- 陶瓷、聚酯物、玻璃、金屬膜等材料微加工
- LLO雷射剥離微流量緩釋，電泳微流槽
MicroMaster UV紫外準分子雷射加工系統/準分子雷射雕刻機
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